Fabrication 分子線エピタキシー装置 パルスレーザー堆積(PLD)装置 ニクタイド用PLD装置1号機 ニクタイド用PLD装置2号機 カルコゲン用PLD装置 酸化物用PLD装置1号機 酸化物用PLD装置2号機 酸化物用PLD装置3号機 窒化物用PLD-MBE複合成膜装置 電子線蒸着装置 電子線蒸着装置2号機 抵抗加熱蒸着装置 超高真空スパッタリング装置 スパッタリング装置 メタル電極用スパッタ装置 エキシマレーザー 高出力Nd:YAGレーザー ドライエッチング装置 マスクアライナー スピンコーター 電子線リソグラフィー オゾン洗浄装置 高速昇温炉 ボックス炉 高温ボックス炉 管状炉 赤外線ゴールドイメージ炉 赤外線高速熱処理装置 超高真空加熱処理装置 超臨界CO2処理装置 化学機械研磨機 ワイヤボンダー グローブボックス ターゲット成形用加圧装置 プラズマ焼結装置 ボールミル 各種研磨加工装置